D07-19B精密氣體流量計(jì)用途:用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
★高精度,快響應(yīng)型
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用DB15型電插頭,標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭
★兼容
D07-19B精密氣體流量計(jì)用途:
用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
D07-19B技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào) | D07-19B |
產(chǎn)品類型 | 高精度型,快響應(yīng)型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
產(chǎn)品精度 | ±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
線性 | ±0.5% F.S. |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤2sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
輸入輸出信號(hào) | (0~5)VDC |
電源 | ±15V |
閥類型 | 常閉 |
溫度系數(shù) | - 無(wú) - |
零點(diǎn)飄移指標(biāo) | - 無(wú) - |
電氣連接 | D sub 15 pins Male |
工作壓差范圍 | (0.1~0.3) MPa,(0.1~0.5) MPa |
漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He) |
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套1/8”(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭 |
表面化學(xué)成分 | - 無(wú) - |
表面粗糙度 | - 無(wú) - |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 0.95kg |